XM-200型表面形貌测量仪特征

部件名称

内容

部件名称

内容

X方向移动
导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式

高精度滑动导轨
200mm
0.5 μ m/100mm
光栅计数

Z方向移动(立拄)
导轨类型
移动长度
驱动方式
测量方式

高精度滑动导轨
400mm
滚珠丝杠
编码器

轮廓形状测量
传感器类别
测量范围
显示分辨率
相对误差
半径测量误差

高精度差动电感式
± 0.03mm，±0.5mm，±4mm
0.001μm,0.017μm,0.13μm 0.005FS
0.02-0.1 %

附 件
三维调整工作台
旋转工作台

水平、倾角、摆角调整
安装轴承

粗糙度测量
测量参数
测量范围
显示分辨率
粗糙度测量误差

GB3505规定所有参数
R a 0.01～10μm
65536:1
2%+4nm

Y 向移动台（选购） 导轨类型
移动长度
直线精度
测量方式

三维形貌测量用
滚动导轨
100mm
2 μ m/100mm
编码器

GB3505规定所有轮廓、波纹度和粗糙度参数，曲率半径、沟中心距、锁口高、凸度、
对数曲线、球基面、沟位置等轴承专用参数。

测量软件
软件平台
功能

windowsXP
根据被测工件情况自动选取、自动校正、自动分析，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、手动或自动进行量程转换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出。可以根据用户要求增减分析处理软件。